故障現(xiàn)象
設(shè)備在工作中出現(xiàn)曝光中斷，并提示高壓嚴(yán)重出錯。重啟機(jī)器后，做曝光預(yù)熱過程中報錯：“Generalerrormessage”。
故障分析與排除
根據(jù)報錯，首先檢查高壓系統(tǒng)
1）打開配電柜，觀察有關(guān)高壓部分的空氣開關(guān)和保險絲都正常。
2）測量高壓陽極模塊（APM）和高壓陰極模塊（CPM）的數(shù)據(jù)都正常，高壓曝光控制板（Rhost）的指示燈也正常。
3）然后進(jìn)入系統(tǒng)的調(diào)試模式，用低條件（80kV，20mA）進(jìn)行短時間曝光。
4）查看實際的kV和mA值，發(fā)現(xiàn)kV值基本正常，但是陽極和陰極的電流不相等，陰極電流很小。
可以發(fā)現(xiàn)實際通過球管燈絲的電流幾乎為零。取下球管陰極高壓插頭，用萬用表測到燈絲變壓器阻值很小，球管燈絲阻值為無窮大，基本可以認(rèn)定是球管燈絲斷了。
向廠家購買球管并進(jìn)行更換（需注意更換球管時，連接球管正負(fù)極的兩根高壓電纜線，這兩根高壓電纜線拆卸下來后需要用干凈的塑料袋子裝好，防止有灰塵進(jìn)入）。并在廠家工程師的指導(dǎo)下進(jìn)行球管的順應(yīng)性校準(zhǔn)（tubeadaptation）。
現(xiàn)流程如下：
1）GrudVoltageEntry（電壓校正）
2）FiliamentCalibration（燈絲校正）
3）RotalBalanceTest（旋轉(zhuǎn)平衡測試）
4）LongTC（球管長時間的曝光，高條件訓(xùn)練）
5）XRTZ-mechanicalCalibration（球管Z軸方向機(jī)械調(diào)整，在此之前需要做眼模定位）
6）PlanceZ-mechanicalCalibration（前準(zhǔn)直器Z軸方向機(jī)械校正）
7）XRTX-mechanicalCalibration（球管X軸方向機(jī)械調(diào)整）
8）XRTFSWidthCalibration（焦點(diǎn)寬度定標(biāo)）
9）XRTDFSPositionCalibration（動態(tài)焦點(diǎn)校正定位）
10）XRTSFSPositionCalibration（靜態(tài)焦點(diǎn)校正定位）
11）UltrahighRESComnAlignCalibration（超高分辨力準(zhǔn)直器校正）
12）AirCalibration（空氣校正）
13）PhantomCalibration（水模校正）
所有步驟完成后，重啟機(jī)器，球管預(yù)熱正常，能進(jìn)行正常掃描操作，故障排除。
