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本發明涉及一種齒輪齒面的高精度光學測量方法，其特征在于:在入射光和被測齒面之間放置一個多面棱鏡，測量時將多面棱鏡移入被測齒面的齒槽內；入射光進入棱鏡后，被棱鏡的反射面反射，投射到被測齒面上，相機從側面采集反射鏡中被測齒面圖像的圖像數據，從而獲得完整的齒面信息。